確保準(zhǔn)確性：驗(yàn)證模型在特定任務(wù)上的預(yù)測或分類準(zhǔn)確性是否達(dá)到預(yù)期。提升魯棒性：檢查模型面對噪聲數(shù)據(jù)、異常值或?qū)剐怨魰r(shí)的穩(wěn)定性。公平性考量：確保模型對不同群體的預(yù)測結(jié)果無偏見，避免算法歧視。泛化能力評估：測試模型在未見過的數(shù)據(jù)上的表現(xiàn)，以預(yù)測其在真實(shí)世界場景中的效能。二、模型驗(yàn)證的主要方法交叉驗(yàn)證：將數(shù)據(jù)集分成多個(gè)部分，輪流用作訓(xùn)練集和測試集，以***評估模型的性能。這種方法有助于減少過擬合的風(fēng)險(xiǎn)，提供更可靠的性能估計(jì)。K折交叉驗(yàn)證：將數(shù)據(jù)集分為K個(gè)子集，模型在K-1個(gè)子集上訓(xùn)練，并在剩下的一個(gè)子集上測試。黃浦區(qū)優(yōu)良驗(yàn)證模型熱線

實(shí)驗(yàn)條件的對標(biāo)首先，要將模型中的實(shí)驗(yàn)設(shè)置與實(shí)際的實(shí)驗(yàn)條件進(jìn)行對標(biāo)，包含各項(xiàng)工藝參數(shù)和測試圖案的信息。其中工藝參數(shù)包含光刻機(jī)信息、照明條件、光刻涂層設(shè)置等信息。測試圖案要基于設(shè)計(jì)規(guī)則來確定，同時(shí)要確保測試圖案的幾何特性具有一定的代表性。光刻膠形貌的測量進(jìn)行光刻膠形貌測量時(shí)，通常需要利用掃描電子顯微鏡（SEM）收集每個(gè)聚焦能量矩陣（FEM）自上而下的CD、光刻膠截面輪廓、光刻膠高度和側(cè)壁角 [3]，并將其用于光刻膠模型校準(zhǔn)，如圖3所示。靜安區(qū)優(yōu)良驗(yàn)證模型要求繪制學(xué)習(xí)曲線可以幫助理解模型在不同訓(xùn)練集大小下的表現(xiàn)，幫助判斷模型是否過擬合或欠擬合。

光刻模型包含光學(xué)模型和光刻膠模型，其中光刻膠模型描述了光刻膠曝光顯影過程中發(fā)生的物理化學(xué)反應(yīng)[1]。光刻膠模型可以為光刻膠的研發(fā)和光刻工藝的優(yōu)化提供指導(dǎo)。然而，由于模型中許多參數(shù)不可直接測量或測量較為困難，通常采用實(shí)際曝光結(jié)果來校準(zhǔn)模型，即光刻膠模型的校準(zhǔn)[2]。鑒于模型校準(zhǔn)的必要性，業(yè)界通常需要花費(fèi)大量精力用于模型校準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)與結(jié)果，如圖1所示 [3]。光刻膠模型的校準(zhǔn)的具體流程如圖2所示 [2]。光刻膠模型校準(zhǔn)主要包含四個(gè)部分：實(shí)驗(yàn)條件的對標(biāo)、光刻膠形貌的測量、模型校準(zhǔn)、模型驗(yàn)證。

因?yàn)樵趯?shí)際的訓(xùn)練中，訓(xùn)練的結(jié)果對于訓(xùn)練集的擬合程度通常還是挺好的（初始條件敏感），但是對于訓(xùn)練集之外的數(shù)據(jù)的擬合程度通常就不那么令人滿意了。因此我們通常并不會(huì)把所有的數(shù)據(jù)集都拿來訓(xùn)練，而是分出一部分來（這一部分不參加訓(xùn)練）對訓(xùn)練集生成的參數(shù)進(jìn)行測試，相對客觀的判斷這些參數(shù)對訓(xùn)練集之外的數(shù)據(jù)的符合程度。這種思想就稱為交叉驗(yàn)證（Cross Validation） [1]。交叉驗(yàn)證（Cross Validation），有的時(shí)候也稱作循環(huán)估計(jì)（Rotation Estimation），是一種統(tǒng)計(jì)學(xué)上將數(shù)據(jù)樣本切割成較小子集的實(shí)用方法，該理論是由Seymour Geisser提出的。常見的有K折交叉驗(yàn)證，將數(shù)據(jù)集分為K個(gè)子集，輪流使用其中一個(gè)子集作為測試集，其余作為訓(xùn)練集。

驗(yàn)證模型是機(jī)器學(xué)習(xí)和統(tǒng)計(jì)建模中的一個(gè)重要步驟，旨在評估模型的性能和泛化能力。以下是一些常見的模型驗(yàn)證方法：訓(xùn)練集和測試集劃分：將數(shù)據(jù)集分為訓(xùn)練集和測試集，通常按70%/30%或80%/20%的比例劃分。模型在訓(xùn)練集上進(jìn)行訓(xùn)練，然后在測試集上評估性能。交叉驗(yàn)證：K折交叉驗(yàn)證：將數(shù)據(jù)集分為K個(gè)子集，模型在K-1個(gè)子集上訓(xùn)練，并在剩下的一個(gè)子集上測試。這個(gè)過程重復(fù)K次，每次選擇不同的子集作為測試集，***取平均性能指標(biāo)。留一交叉驗(yàn)證（LOOCV）：每次只留一個(gè)樣本作為測試集，其余樣本作為訓(xùn)練集，適用于小數(shù)據(jù)集。訓(xùn)練集用于訓(xùn)練模型，驗(yàn)證集用于調(diào)整模型參數(shù)（如超參數(shù)調(diào)優(yōu)），測試集用于評估模型性能。黃浦區(qū)直銷驗(yàn)證模型咨詢熱線

監(jiān)控模型在實(shí)際運(yùn)行中的性能，及時(shí)收集反饋并進(jìn)行必要的調(diào)整。黃浦區(qū)優(yōu)良驗(yàn)證模型熱線

交叉驗(yàn)證有時(shí)也稱為交叉比對，如：10折交叉比對 [2]。Holdout 驗(yàn)證常識來說，Holdout 驗(yàn)證并非一種交叉驗(yàn)證，因?yàn)閿?shù)據(jù)并沒有交叉使用。 隨機(jī)從**初的樣本中選出部分，形成交叉驗(yàn)證數(shù)據(jù)，而剩余的就當(dāng)做訓(xùn)練數(shù)據(jù)。 一般來說，少于原本樣本三分之一的數(shù)據(jù)被選做驗(yàn)證數(shù)據(jù)。K-fold cross-validationK折交叉驗(yàn)證，初始采樣分割成K個(gè)子樣本，一個(gè)單獨(dú)的子樣本被保留作為驗(yàn)證模型的數(shù)據(jù)，其他K-1個(gè)樣本用來訓(xùn)練。交叉驗(yàn)證重復(fù)K次，每個(gè)子樣本驗(yàn)證一次，平均K次的結(jié)果或者使用其它結(jié)合方式，**終得到一個(gè)單一估測。這個(gè)方法的優(yōu)勢在于，同時(shí)重復(fù)運(yùn)用隨機(jī)產(chǎn)生的子樣本進(jìn)行訓(xùn)練和驗(yàn)證，每次的結(jié)果驗(yàn)證一次，10折交叉驗(yàn)證是**常用的 [3]。黃浦區(qū)優(yōu)良驗(yàn)證模型熱線

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