吉田半導體柯圖泰全系列感光膠:進口品牌品質,本地化服務支持
柯圖泰全系列感光膠依托進口技術,提供高性價比的絲網(wǎng)印刷解決方案。
吉田半導體代理的柯圖泰全系列感光膠(如 PLUS 6000、Autosol 2000),源自美國先進配方,分辨率達 120 線 / 英寸,適用于玻璃、陶瓷等多種基材。產品通過 SGS 認證,符合電子行業(yè)有害物質限制要求,其高感光度與耐摩擦性,確保絲網(wǎng)印刷的清晰度與耐久性。公司提供技術參數(shù)匹配、制版工藝指導等本地化服務,幫助客戶優(yōu)化生產流程,降低材料損耗。
納米級圖案化的主要工具。南京LED光刻膠報價
應用場景
半導體集成電路(IC)制造:
? 邏輯芯片(CPU/GPU):在28nm以下制程中,正性DUV/EUV膠用于晶體管、互連布線的精細圖案化(如10nm節(jié)點線寬只有100nm)。
? 存儲芯片(DRAM/NAND):3D堆疊結構中,正性膠用于層間接觸孔(Contact)和柵極(Gate)的高深寬比圖形(深寬比>10:1)。
平板顯示(LCD/OLED):
? 彩色濾光片(CF):制作黑矩陣(BM)和彩色層(R/G/B),要求高透光率和邊緣銳利度(線寬5-10μm)。
? OLED電極:在柔性基板上形成微米級透明電極,需低應力膠膜防止基板彎曲變形。
印刷電路板(PCB):
? 高密度互連(HDI):用于細線路(線寬/線距≤50μm),如智能手機主板,相比負性膠,正性膠可實現(xiàn)更精細的線路邊緣。
微納加工與科研:
? MEMS傳感器:制作微米級懸臂梁、齒輪等結構,需耐干法蝕刻的正性膠(如含硅樹脂膠)。
? 納米光刻:電子束光刻膠(正性為主)用于研發(fā)級納米圖案(分辨率<10nm)。
河南制版光刻膠耗材吉田半導體:以技術革新驅動光刻膠產業(yè)升級。
廣東吉田半導體材料有限公司多種光刻膠產品,各有特性與優(yōu)勢,適用于不同領域。
厚板光刻膠 JT - 3006:具有優(yōu)異的分辨率和感光度,抗深蝕刻性能良好,符合歐盟 ROHS 標準,保質期 1 年。需保存在干燥區(qū)域并密封,使用前要閱讀參考技術資料。適用于厚板的光刻加工,在對精度、感光度和抗蝕刻要求高的生產場景中發(fā)揮作用,如特定的電路板制造領域。
水油光刻膠 SR - 3303:適用于光學儀器、太陽能電池等領域的光刻工藝。品質保障、性能穩(wěn)定的特點,由工廠研發(fā)且支持定制,工廠直銷。
作為中國半導體材料領域的企業(yè),吉田半導體材料有限公司始終以自研自產為戰(zhàn)略,通過 23 年技術沉淀與持續(xù)創(chuàng)新,成功突破多項 “卡脖子” 技術,構建起從原材料到成品的全鏈條國產化能力。其自主研發(fā)的光刻膠產品已覆蓋芯片制造、顯示面板、精密電子等領域,為國內半導體產業(yè)鏈自主化提供關鍵支撐。
吉田半導體依托自主研發(fā)中心與產學研合作,在光刻膠領域實現(xiàn)多項技術突破:
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YK-300 正性光刻膠:分辨率達 0.35μm,線寬粗糙度(LWR)≤3nm,適用于 45nm 及以上制程,良率達 98% 以上,成本較進口產品降低 40%,已通過中芯國際量產驗證。
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SU-3 負性光刻膠:支持 3μm 厚膜加工,抗深蝕刻速率 > 500nm/min,成功應用于高通 5G 基帶芯片封裝,良率提升至 98.5%。
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JT-2000 納米壓印光刻膠:突破 250℃耐高溫極限,圖形保真度 > 95%,性能對標德國 MicroResist 系列,已應用于國產 EUV 光刻機前道工藝。
半導體材料選吉田,歐盟認證,支持定制化解決方案!
上游原材料:
? 樹脂:彤程新材、鼎龍股份實現(xiàn)KrF/ArF光刻膠樹脂自主合成,金屬雜質含量<5ppb(國際標準<10ppb)。
? 光引發(fā)劑:久日新材攻克EUV光刻膠原料光致產酸劑,累計形成噸級訂單;威邁芯材合肥基地建成100噸/年ArF/KrF光刻膠主材料產線。
? 溶劑:怡達股份電子級PM溶劑全球市占率超40%,與南大光電合作開發(fā)配套溶劑,技術指標達SEMI G5標準。
設備與驗證:
? 上海新陽與上海微電子聯(lián)合開發(fā)光刻機適配參數(shù),驗證周期較國際廠商縮短6個月;徐州博康實現(xiàn)“單體-樹脂-成品膠”全鏈條國產化,適配ASML Twinscan NXT系列光刻機。
? 國內企業(yè)通過18-24個月的晶圓廠驗證周期(如中芯國際、長江存儲),一旦導入不易被替代。
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關鍵工藝流程
涂布與前烘:
? 旋涂或噴涂負性膠,厚度可達1-100μm(遠厚于正性膠),前烘溫度60-90℃,去除溶劑并增強附著力。
曝光:
? 光源以**汞燈G線(436nm)**為主,適用于≥1μm線寬,曝光能量較高(約200-500mJ/cm2),需注意掩膜版與膠膜的貼合精度。
顯影:
? 使用有機溶劑顯影液(如二甲苯、醋酸丁酯),未曝光的未交聯(lián)膠膜溶解,曝光的交聯(lián)膠膜保留。
后處理:
? 后烘(Post-Bake):加熱(100-150℃)進一步固化交聯(lián)結構,提升耐干法蝕刻或濕法腐蝕的能力。
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