廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-05

采用五面加熱設(shè)計（頂部、底部、左右側(cè)、背部），配合雙循環(huán)熱風(fēng)系統(tǒng)，溫度均勻性≤±1.5℃（300mm×300mm 區(qū)域）。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的設(shè)備在甲酸活化區(qū)增設(shè)單獨(dú)溫控模塊，確保局部溫度精確可控。

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