50WXQ-100BT050WVAE101BTL504885-W705LBA050WV4-601BF050FWME501BTL504885-W708LBF050WVQ-100BT050FWQ-N80BTL507212-W677LBTL507212-W742LBF050QHE-400BS050HDG-N40-6C00BF050WVM-500BF050FHME101BF050WVE-400BV050HDS-T40BV050HDE-N40BTL505496-W692LBTL507212-W747LBS050HDE-N41-6Q00BV050HDE-N44BF050HDQ-100BF050HDE-400BF047WVG-100BV047HDE-N40BF045WVQ-100BF045QHME501BTL455496-W613LBF045QHME402BF045WVE-400BT045FWQ-N80BTL434880-W570LBP043WV2-100BF043QHME501BTL434880-W518LBTL434880-W539LBF043WVG-100BF043WVME101BT043NHME101BF040WVME501BA039HV2-100BF040WVME101BT040HVME602BP039WV2-100BP039WV2-101BP039WV4-500BF040WVME502HVA40WV2-D00BD039WVL-100BF040WVMG003BD039WVQ-110BD039WVQ-810BD039WVL-600BD039WVS-810BT040WVG-N60BTL404880-W557LPBF040WVMG003-G101BF039WVE-800BF039WVE-500BF039WVQ-100BT035HVME101BT035HVME601BA035HV3-100BA035HV3-800BT033HVMG001BT032HVME101BT032QVME601BT032QVMQ103BF030WQME601BA030QV2-100BTL282440-310LBF028QVME501BT028QVME101BT028WQME101BT028WQME601BT024QVME106BT024QVME104BT024QVMQ102BTL242432-201L。博洋 BOE 蝕刻液以其獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，為行業(yè)提供個(gè)性化解決方案！浙江了解BOE蝕刻液推薦廠家

    表％九氟丁基甲基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出92重量％九氟丁基甲基醚和8重量％甲基四氫呋喃的共沸組合物，其在°C的沸點(diǎn)。實(shí)施例2如實(shí)施例1所述進(jìn)行沸點(diǎn)測(cè)定方法。表II給出九氟丁基乙基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量％甲基四氫呋喃的重量％(°C)％九氟丁基乙基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出％九氟丁基乙基醚和％甲基四氫呋喃的共沸組合物，其在°C的沸點(diǎn)。清洗試驗(yàn)的總體過(guò)程首先，用FORANE141b對(duì)2X5cm的不銹鋼片材進(jìn)行脫脂。這些片材各自在測(cè)試之前稱重，其構(gòu)成皮重。然后，在這些片材的單側(cè)上涂布油REDUCTELFSP460。對(duì)該涂布有油的片材進(jìn)行稱重，并由與皮重的差值推算出涂布的油的量。接下來(lái)，將該涂布有油的片材浸5入到含有100ml待評(píng)價(jià)組合物的燒杯中5分鐘，不進(jìn)行攪拌且無(wú)超聲。該片材一移出，就在通風(fēng)的情況下進(jìn)行15分鐘的滴干(dripdry)，并且，在該15分鐘結(jié)束時(shí)，通過(guò)稱重測(cè)定油的殘留量。與油的初始量相比，計(jì)算移除的油的百分?jǐn)?shù)。實(shí)施例3在使用九氟丁基甲基醚的組合物的情況下，得到0%的油移除率。實(shí)施例4在使用包含8重量％的2-MeTHF和92重量％的九氟丁基甲基醚的組合物的情況下。安徽專業(yè)BOE蝕刻液推薦貨源BOE蝕刻液的溶液成分。

    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來(lái)改善磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來(lái)蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展，器件的特征尺寸越來(lái)越小，集成度越來(lái)越高，對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來(lái)越高，如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí)，晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測(cè)量時(shí)，檢測(cè)點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問(wèn)題，通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸、％的醇醚類、％的表面活性劑。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。

    siendolaresultantemíósitosdeberáserarenasilíceayestarlavada,limpia,secayexentadearcillas,limos,componentesdeazufreydecualquierotrasustanciaquepuedaatacarquímicamentealosmaterialesdeldepósito;eltama?odelosgranosdearenaestarácomprendidoentre0,1y2milíánecesarialainstalacióndecubeto,circunstanciaquedeberááticoenlaexcavacióndealojamientodetanquesseconstruirááeldepósitoparaimpedirquevacíoseeleveomuevaencasodeinmersióóndeldepósitoalasoleraseefectuarádeformaquelapresiónejercidasobreelrevestimientoprotectornopuedada?arlo,yaseaenelmomentodesucolocación,yaseaencasodeflotacióándepletinadeacerodeseismilímetrosdeespesorcomomíáunfieltroomaterialanálogo,inalterablealentornoqueimpidaquelosflejesda?enelrevestimientodeldepóálicasdeestafijaciónestánprotegidascontralacorrosióósitosserealizarácomosedescribeenel。質(zhì)量好的BOE蝕刻液的公司聯(lián)系方式。

    添加劑為二乙二醇單甲醚、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為％、％、％。實(shí)施例6本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸鈉，添加量分別為總質(zhì)量的％、％、％。對(duì)照例對(duì)照例中所含成分顯示于表1，并采用與實(shí)施例相同的方法進(jìn)行處理。對(duì)照例1為純磷酸，總質(zhì)量為400g。對(duì)照例2為磷酸、丙二醇丁醚，其中丙二醇丁醚的添加量為總質(zhì)量的％。對(duì)照例3為磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質(zhì)量的％。結(jié)果如表2所示，與對(duì)照例蝕刻液相比，實(shí)施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角，并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性。表1表2顯然，上述實(shí)施例和對(duì)照例是為了清楚地說(shuō)明所作的實(shí)例，而并非對(duì)實(shí)施方式的限制。對(duì)于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在上述說(shuō)明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng)，這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而因此所引申的顯而易見(jiàn)的變化或變動(dòng)仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之內(nèi)。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司專業(yè)生產(chǎn)BOE蝕刻液。河南電子級(jí)BOE蝕刻液銷售公司

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