分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種：單頻激光干涉儀：在20世紀60年代中期出現(xiàn)，**初用于檢定基準線紋尺，后用于在計量室中精密測長。它對環(huán)境要求較高，周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài)，以避免空氣湍流對測量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀：出現(xiàn)于1970年，適宜在車間中使用。它應(yīng)用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng)。三、應(yīng)用它通常用于高精度的位移、振動、形變等物理量的測量。工業(yè)園區(qū)新款雙頻激光干涉儀哪家強

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀，以下是對其的詳細介紹：一、基本原理雙頻激光干涉儀利用兩束頻率相近的激光，通過分束后分別作為參考光和測量光。測量光經(jīng)移動目標反射后與參考光疊加產(chǎn)生多普勒頻移差頻信號，通過檢測差頻的變化來計算位移量。具體來說：雙頻生成：激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光（如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制），頻率分別為f1和f2。分束干涉：光束經(jīng)分光鏡分為兩路，一路為參考光（頻率穩(wěn)定），另一路為測量光（頻率經(jīng)被測物**移產(chǎn)生多普勒頻移Δf）。工業(yè)園區(qū)新款雙頻激光干涉儀哪家強即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。

邁克爾遜干涉儀，是1881年美國物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作，為研究“以太”漂移而設(shè)計制造出來的精密光學(xué)儀器。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實現(xiàn)干涉。通過調(diào)整該干涉儀，可以產(chǎn)生等厚干涉條紋，也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量，若觀察到干涉條紋移動一條，便是M2的動臂移動量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量技術(shù)中，如在光譜線精細結(jié)構(gòu)的研究和用光波標定標準米尺等實驗中都有著重要的應(yīng)用。利用該儀器的原理，研制出多種**干涉儀。 [1]

這種無規(guī)則的變化較難通過觸發(fā)電平的自動調(diào)整來補償，因而限制了單頻干涉儀的應(yīng)用范圍，只有設(shè)法用交流測量系統(tǒng)代替直流測量系統(tǒng)才能從根本上克服單頻激光干涉儀的這一弱點。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點，它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器，所不同者，一方面是當可動棱鏡不動時，前者的干涉信號是介于**亮和**暗之間的某個直流光平，而后者的干涉信號是一個頻率約為1.5MHz的交流信號；用激光干涉儀作為機床的測量系統(tǒng)可以提高機床的精度和效率。

（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。（2）位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數(shù)控機床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到比較好精度，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。當兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過分束器分開后，經(jīng)過被測物體的反射或透射后再合并，形成干涉條紋。張家港購買雙頻激光干涉儀銷售廠

現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至達到十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。工業(yè)園區(qū)新款雙頻激光干涉儀哪家強

激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器，廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實現(xiàn)幾何量的檢測，具備抗干擾能力強、精度高等特點。主要應(yīng)用場景包括數(shù)控機床校準、三坐標機校準、光學(xué)平臺校準等，通過與不同光學(xué)組件結(jié)合，可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月，激光干涉測量儀的技術(shù)參數(shù)包括 [1]：標準量程：0-40米測量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測量精度：0.2%工業(yè)園區(qū)新款雙頻激光干涉儀哪家強

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